مقاله کامل در مورد يون گيري واكنشي

مقدمه :
يون گيري واكنشي- PECVD- Ashing- پراكنده كردن مايعات- شيمي پلاسمايي- فيزيك پلاسما- عكس العمل سطوح نسبت به يكديگر
سخنران: Herbert H.Sawin
پروفسور مهندسي شيمي و مهندسي برق و علوم كامپيوتر از مؤسسه علم و صنعت ماساچوست (MIT)، شهر كمبريج، MA
پيشنهادهاي فهرست شدة سمينار: July 8-12,2002كمبريج، ماساچوست
ارزيابي هاي سمينار
معرفي سمينار
طرح كلي سمينار
شرح حال و تحقيقات جاري هرب ساوين
زمينه ها و خصوصيات خواسته شده از ثبت نام كنندگان
روند كار و نوع سمينار
اطلاعات براي ذخيره جا در هتل
اطلاعات ثبت نام
آموزش در سايت
يادداشتهاي نمونه سمينار
مقالات اخير ساوين
تماس ها براي سوالات
ثبت نام در وب سايت
اطلاعات ناحية بوستون
سوابق آقاي ساوين
1-معرفي
فيزيك پلاسما
فرآيند ريزالكترونيك
2-سيفتيك گازي (Gas Kinetics)
مدل سيفتيك گازي
مدل توزيع ماكسول- بولتزمن
مدل گازي ساده شده
محتواي انرژي
نرخ برخورد بين مولكولها
مسير آزاد
سياليت عددي ذرات گاز روي يك سطح
فشار گازي
خواص انتقال
جريان گاز
وضعيت سيال
رسانايي رساناها
احتمال برخورد
پراكندگي گاز- گار
پراكندگي ذره از يك آرايش ثابت
انتشار ارتجاعي
برخورد غير ارتجاعي
نمونه هاي فرآيندهاي برخورد غير ارتجاعي
عكس العمل هاي فاز- گازي
3-فيزيك پلاسما
توزيع انرژي الكتروني
سينتيك همگوني پلاسما
مدل توزيع (مارجينوا)
مدل توزيع (دروي وشتاين)
انتقال ذره باردار شده و باردار شدن فضايي
سينتيك گاز رقيق شده
شكافت انتشار دو قطبي
تجمع غلاف
سينتيك سادة غلاف
حفاظت يا پوشش «ديباي»
تجمع غلاف و آزمايش بوهم (Bohm)
آزمايش غلاف بوهم
خصوصيات ميلة آزمايش
شكست و نگهداري، تخلية rf
تقريب ميدان مشابه
تقريب ميدان غيرمشابه
مدل سازي ئيدروديناميك خودساختة تخلية rf
اندازه گيري تخريب rf
مدل توازن الكترونيكي
مقايسة تخريب rf اندازه گيري شده و محاسبه شده
ارائه مدل به سبك مونت كارلوي تخلية rf
خود با يا سنيگ rf (تجمع خودبخودي rf)
سيستم همگن (متقارن)
توزيع ولتاژ در سيستم rf
توزيع ولتاژ در پلاسماي خازني rf متقارن و غير متقارن
مدار معادل تخلية rf
تنظيم الكترودها
سينتيك بمباران يوني
تخلية اپتيكي
لم اندازه گيري حركت
ريزنگاري تخلية اپتيكي
فرآيند برخورد الكترون
برخورد الكتروني اكسيژن در پلاسما
4-تخليه هاي مدار مستقيم (DC)
اميژن ثانويه الكترون در بمباران يوني
بمباران خنثي اميژن ثانويه
عمل فتواميژن الكترونهاي ثانوي
ناحية كاتدي
يونيزاسيون در غلاف
توزيع انرژي يونها
الكترونهاي اشعه اي (الكترونهاي سريع)
ناحية آند
مدل سازي پلاسمايي DC
5-تخليه هاي Rf
فيزيك پلاسماي rf خازني
فيزيك تخليه RF كه بصورت القايي فردوج شده اند.
فيزيك تخليه رزونانس الكترون- سيلكوترون
فيزيك تخلية هليكون
پيكره بندي و سخت افزار رآكتور
همگن كردن شبكه ها و تنظيم كننده ها

فایل : 98 صفحه

فرمت : Word